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電子応用研究室 原 和裕 教授

電子デバイス

半導体IC技術を用いた
環境計測用センサの開発

 環境汚染が深刻になりつつあります。本研究室では、空気中に漂う様々な環境汚染物質を検出できるセンサを開発しています。このセンサは半導体IC技術とマイクロマシーニング技術を応用して作製しており、小型・軽量・安価・低電力消費を目指しています。検出用材料は金属酸化物の半導体薄膜です。検出できる環境汚染物質としては、NOx、SOx、揮発性有機化合物(VOC; Volatile Organic Compounds)等のガスのほか、自動車の排気ガス、煙、花粉、黴等の浮遊粒子状物質、悪臭です。これらの物質に対して、本センサの電気抵抗が変化しますので、その変化から物質を識別します。将来的に、携帯電話や腕時計に組み込むことにより、各人がその場でさまざまな危険を察知できるようにするほか、ロボットの嗅覚への応用を考えています。

原 和裕 教授

環境計測用センサ(2種類)の断面図

センサ膜表面の原子間力顕微鏡写真

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